SF6氣體濕度的測量目前主要有四種方法：質量法、電解法、冷鏡露點法和阻容法。前三種方法是IEC和國標推薦的方法，見IEC60376《電氣設備中六氟化硫的技術規范》、GB/T5832.1-2003《氣體濕度的測定電解法》和GB/T 5832.2-2008《氣體中微量水分的測定第2部分，露點法》，質量法只適合于濕度仲裁，阻容法是近期才發展的新的測試方法。

  1、質量法測量氣體濕度。質量法測量SF6氣體濕度是應用高氯酸鎂吸收氣體中的水分，在通過一定量的SF6氣體后，稱量恒重后的高氯酸鎂增量。計算SF6氣體的濕度質量比。

  2、冷鏡露點測量濕度。根據露點溫度的定義，用等壓冷卻的方法使氣體中水蒸氣冷卻至凝聚相出現，或通過控制冷面的溫度，使氣體中的水蒸氣與水(或冰)的平展表面呈熱力學相平衡狀態。準確測量此時的溫度，即為該氣體的露點溫度，測量氣體露點溫度的儀器叫做冷鏡露點儀(簡稱露點儀)，露點儀的主要檢測部件是冷凝鏡(測量鏡)。

  3、電解法測量氣體濕度。電解法是采用庫倫電解原理來測量氣體中的微量水分(0~1000PPmV)，原理是通過被測氣體流經一個特殊結構的電解池，被測氣體中所含的水分被池內作為稀濕劑P2O5膜層吸收，并全部被電解，當吸收和電解過程達到平衡時，電解電流正比于氣體中的水含量。

  4、氧化鋁阻容測量濕度。氧化鋁阻容露點儀是根據水蒸氣與氧化鋁的電容量變化關系而設計的，氧化鋁傳感器由鋁基體、氧化鋁和金膜組成。將鋁絲或鋁片放在酸性水溶液中，通過交流氧化即成具有與濕度相關的氧化鋁薄膜，濕度與氧化鋁的阻容量呈相關變化。通過測量阻容變化的濕度測試儀器稱為阻容露點儀。

  如何才能更準確地測量SF6氣體濕度，需要注意的事項：

  1、測量管道和接頭等部件質量良好.處理合格。推薦采用不銹鋼管道，也可采用聚四氟乙烯制作的測量管道。另外，要保持所有部件清潔干燥，減少測試誤差。

  2、正確選擇測量儀器，保證儀器處于良好狀態。除正確保管儀器外.應定期進行校驗，一般每年校驗一次。

  3、SF6氣體微水測試儀與SF6設備之間的管路連接應密閉不漏。

  4、應采用合適的測量方法。如采用露點法的儀器。推薦取樣氣體的壓力為0.1MPa時進行測量。

  5、宜在晴好天氣進行測量，以免空氣中過多的水蒸氣影響測量準確性。

  6、環境溫度對測量氣體濕度也有相當大的影響，建議每次測量時的溫度相近.以利于比較。測量時的環境溫度在20℃左右為好，并在報告中注明測試溫度。

  7、斷路器充氣后一般應穩定48h后再進行測量。